Single and Double Diffusion Breaks in 14nm FinFET and Beyond

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标题	Single and Double Diffusion Breaks in 14nm FinFET and Beyond 14nm及以上FinFET中的单、双扩散断口相关领域材料科学扩散工程物理光电子学纳米技术热力学物理
网址	https://doi.org/10.7567/ssdm.2017.e-2-03
DOI	10.7567/ssdm.2017.e-2-03 doi
其它	期刊：Extended Abstracts of the 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials 作者：K. Miyaguchi; F. M. Bufler; T. Chiarella; Philippe Matagne; N. Horiguchi; et al 出版日期：2017-09-20
求助人	Halo 在 2024-03-06 21:51:21 发布自山东，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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