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 Influence of vacuum annealing on mechanical characteristics of focused ion beam fabricated silicon nanowires 真空退火对聚焦离子束制备硅纳米线力学性能的影响
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：H. Ando; Takahiro Namazu 出版日期：2023-11-16 |
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