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标题
Influence of vacuum annealing on mechanical characteristics of focused ion beam fabricated silicon nanowires
真空退火对聚焦离子束制备硅纳米线力学性能的影响
相关领域
材料科学 聚焦离子束 退火（玻璃） 复合材料 扫描电子显微镜 硅 纳米线 再结晶（地质） 透射电子显微镜 极限抗拉强度 脆性 表面粗糙度 纳米技术 光电子学 离子 古生物学 物理 量子力学 生物
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002983
DOI
10.1116/6.0002983 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：H. Ando; Takahiro Namazu
出版日期：2023-11-16
求助人
研友_ZbKr48 在 2025-08-29 22:22:58 发布，悬赏 10 积分
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