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标题
New method of measuring the permittivity of silicon wafer, with relevance to permittivity-based quality sensing
测量硅片介电常数的新方法及其与基于介电常数的质量传感的相关性
相关领域
介电常数 材料科学 电容 薄脆饼 相对介电常数 电极 电容器 光电子学 电子工程 复合材料 电介质 电气工程 电压 化学 物理化学 工程类
网址
DOI
10.1016/j.matchemphys.2023.127516 doi
其它 期刊:Materials Chemistry and Physics
作者:D.D.L. Chung; Dang Q. Duong
出版日期:2023-02-16
求助人
无私代容 在 2025-08-29 20:16:38 发布,悬赏 10 积分
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