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标题
Modeling, Simulation and Testing of Non-Linear Resonance Behavior in MEMS Torsional Mirrors With Mechanical-Electrostatic Coupling
机械——静电耦合MEMS扭转镜非线性共振特性的建模、仿真与测试
相关领域
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网址
DOI
10.1115/imece1999-0259 doi
其它 期刊:
作者:Noa M. Rensing; Stuart Dodson; George G. Adams; P.M. Zavracky; R.W. McClelland; et al
出版日期:1999-11-14
求助人
san 在 2023-11-03 16:48:37 发布自天津,悬赏 30 积分
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