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Improved surface morphology and crystalline quality of semi-polar (112‾2) AlN epilayer with dual moderate-temperature-grown AlN interlayers
双中温生长AlN夹层改善半极性(112ë2)AlN外延层的表面形貌和结晶质量
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期刊:Materials science in semiconductor processing 作者:Xuguang Luo; Xiong Zhang; Bin Chen; Yang Shen; Yong Tian; et al 出版日期:2022-06-01 |
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