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Chip-level orthometric surface acoustic wave device with AlN/metal/Si multilayer structure for sensing strain at high temperature
用于高温应变传感的AlN/metal/Si多层结构片级正交声表面波器件
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期刊:Sensors and actuators. A, Physical 作者:Fanbing Hu; Liang Cheng; Shuyao Fan; Xufeng Xue; Yong Liang; et al 出版日期:2022-01-01 |
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