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[高分] Plasma-enhanced atomic layer deposition of crystalline Ga2S3 thin films
等离子体增强原子层沉积Ga2S3晶体薄膜
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Femi Mathew; Nithin Poonkottil; Eduardo Solano; Dirk Poelman; Zeger Hens; et al 出版日期:2023-10-03 |
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