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MEMS Fabry-Perot sensor interrogated by optical system-on-a-chip for simultaneous pressure and temperature sensing
基于光片上系统的MEMS法布里——珀罗传感器同时进行压力和温度传感
相关领域
材料科学
法布里-珀罗干涉仪
微电子机械系统
压力传感器
光学
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光学滤波器
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期刊:Optics Express 作者:Cheng Pang; Hae-Young Bae; Ashwani K. Gupta; Kenneth M. Bryden; Miao Yu 出版日期:2013-09-09 |
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