A Micro SOI Pressure Sensor With Compensation Hole for High Temperature Applications

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标题	A Micro SOI Pressure Sensor With Compensation Hole for High Temperature Applications 一种用于高温应用的带补偿孔的微SOI压力传感器相关领域绝缘体上的硅材料科学压力传感器线性补偿（心理学）温度测量硅光电子学机械工程电气工程热力学工程类物理精神分析心理学
网址	https://webofscience.clarivate.cn/wos/alldb/full-record/WOS:...
DOI	10.1109/TCPMT.2024.3371419 doi
求助人	rain 在 2025-03-06 16:03:07 发布自山西，悬赏 10 积分
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