Ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing research of PS/CeO2 core–shell abrasives on SiC ceramics

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标题	Ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing research of PS/CeO2 core–shell abrasives on SiC ceramics
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164355
DOI	10.1016/j.apsusc.2025.164355 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Shengqiang Jiang; Liuqing Liu; Jingjie Wang; Xu Li; Ming Mei; et al 出版日期：2025-08-18
求助人	pxy 在 2026-07-15 17:41:25 发布自天津，悬赏 10 积分
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