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Atomic Layer Deposition of Monx Thin Films Using a Newly Synthesized Liquid Mo Precursor
用新合成的液态Mo前驱体原子层沉积Monx薄膜
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期刊:Social Science Research Network 作者:Byunguk Kim; Sangmin Lee; Taesung Kang; Sung Hoon Kim; Sang Man Koo; et al 出版日期:2022-01-01 |
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