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Low-pressure chemical vapor deposition for very large-scale integration processing—A review 相关领域
化学气相沉积
超大规模集成
材料科学
燃烧化学气相沉积
等离子体处理
沉积(地质)
可靠性(半导体)
纳米技术
薄膜
光电子学
工艺工程
电子工程
工程类
碳膜
等离子体
沉积物
功率(物理)
古生物学
物理
生物
量子力学
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