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标题
Understanding the stress effect of TiN top electrode on ferroelectricity in Hf0.5Zr0.5O2 thin films
锡顶电极应力对Hf0.5Zr 0.5 O2薄膜铁电性的影响
相关领域
铁电性 材料科学 锡 电极 压力（语言学） 极限抗拉强度 复合材料 极化（电化学） 微晶 饱和（图论） 电介质 冶金 光电子学 化学 语言学 数学 组合数学 哲学 物理化学
网址
https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/5.01763...
DOI
10.1063/5.0176345 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Runhao Han; Peizhen Hong; Bao Zhang; Mingkai Bai; Jingwen Hou; et al
出版日期：2023-11-16
求助人
shunshun51213 在 2025-05-01 08:53:04 发布自广东，悬赏 10 积分
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