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标题
Evolution of Chemical, Structural, and Mechanical Properties of Titanium Nitride Films with Different Thicknesses Fabricated Using Pulsed DC Magnetron Sputtering
脉冲直流磁控溅射制备不同厚度氮化钛薄膜的化学、结构和力学性能的演变
相关领域
材料科学 氮化钛 锡 无定形固体 结晶度 微观结构 溅射沉积 复合材料 微晶 溅射 表面粗糙度 钛 氮化物 结晶 电铸 表面光洁度 压力（语言学） 薄膜 图层（电子） 冶金 纳米技术 化学工程 结晶学 化学 语言学 哲学 工程类
网址
https://doi.org/10.3390/ma17246067
AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI
10.3390/ma17246067 doi
其它 期刊：Materials
作者：Wei Mao; Runze Qi; Jiali Wu; Zhe Zhang; Zhanshan Wang
出版日期：2024-12-12
求助人
安详的凝竹 在 2025-07-03 05:17:58 发布，悬赏 10 积分
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