The fabrication of high-performance diffraction gratings via vibration-assisted UV nanoimprinting lithography

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标题	The fabrication of high-performance diffraction gratings via vibration-assisted UV nanoimprinting lithography 振动辅助紫外纳米压印光刻制备高性能衍射光栅相关领域材料科学栅栏纳米压印光刻衍射制作衍射光栅振动光学衍射效率光刻胶光电子学复合材料声学物理医学替代医学病理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.colsurfa.2023.132569
DOI	10.1016/j.colsurfa.2023.132569 doi
其它	期刊：Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects 作者：Gu Yan; Yishuo Zhang; Jian Lin; Haijian Zhao; Haihang Ma; et al 出版日期：2023-12-01
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