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标题
Amorphous In-Ga-Mg-O Thin Films Formed by RF Magnetron Sputtering: Optical, Electrical Properties and Thin-Film-Transistor Characteristics
射频磁控溅射非晶In-Ga-Mg-O薄膜的光学、电学和薄膜晶体管特性
相关领域
薄膜晶体管 材料科学 退火（玻璃） 无定形固体 薄膜 光电子学 溅射沉积 带隙 晶体管 半导体 溅射 量子隧道 费米能级 分析化学（期刊） 纳米技术 电气工程 结晶学 化学 冶金 图层（电子） 物理 电子 电压 工程类 量子力学 色谱法
网址
https://ieeexplore.ieee.org/ielx7/8782713/9036065/09954130.p...
AI链接 ieee.org ieee.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.1109/ojnano.2022.3222850 doi
其它 期刊：IEEE Open Journal of Nanotechnology
作者：Hisato Yabuta; Naho Itagaki; Toshikazu Ekino; Yuzo Shigesato
出版日期：2022-01-01
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美好斓 在 2025-04-20 22:17:45 发布自河南，悬赏 10 积分
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