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Behaviours of the lattice-polarity inversion in AlN growth on c-Al2O3 (0001) substrates by ammonia-free high temperature metalorganic chemical vapor deposition
无氨高温金属有机化学气相沉积在c-Al2O3(0001)衬底上生长AlN的晶格极性反转行为
相关领域
化学气相沉积
氨
材料科学
金属有机气相外延
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结晶学
化学
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期刊:CrystEngComm 作者:Xu‐Qiang Shen; Hirofumi Matsuhata; Kazutoshi Kojima 出版日期:2022-01-01 |
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