Local smoothing of optical aluminum surfaces by reactive ion beam etching

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标题	Local smoothing of optical aluminum surfaces by reactive ion beam etching 反应离子束刻蚀光学铝表面的局部平滑相关领域材料科学表面粗糙度光学离子束金刚石车削蚀刻（微加工）反应离子刻蚀表面光洁度机械加工聚焦离子束光电子学梁（结构）离子纳米技术复合材料冶金化学物理有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/1.oe.59.3.035108
DOI	10.1117/1.oe.59.3.035108 doi
其它	期刊：Optical engineering 作者：Melanie Ulitschka; Jens Bauer; Gregor Dornberg; Frank Frost; Thomas Arnold 出版日期：2020-03-31
求助人	下雨天在 2024-04-18 19:43:43 发布自印度尼西亚，悬赏 20 积分
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