Optimization of Triangular-Profiled Si-Grating Fabrication Technology for EUV and SXR Applications

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标题	Optimization of Triangular-Profiled Si-Grating Fabrication Technology for EUV and SXR Applications
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1063784223090...
DOI	10.1134/s1063784223090116 doi
其它	期刊：Technical Physics 作者：D. V. Mokhov; T. N. Berezovskaya; K. Yu. Shubina; E. V. Pirogov; A. V. Nashchekin; et al 出版日期：2024-03-16
求助人	李喵喵在 2026-03-18 15:05:16 发布自美国，悬赏 10 积分
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