Electrostatic micromirror with bult-in large air-gap for wide range of rotational actuation

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标题	Electrostatic micromirror with bult-in large air-gap for wide range of rotational actuation 大气隙大范围旋转驱动静电微镜
网址	https://xueshu.baidu.com/usercenter/paper/show?paperid=40a3c...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	影子鱼在 2024-04-10 11:34:35 发布自北京，悬赏 10 积分
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