标题 |
Achievement of Green and Sustainable CVD Through Process, Equipment and Systematic Optimization in Semiconductor Fabrication
通过半导体制造工艺、设备和系统优化实现绿色可持续CVD
相关领域
制作
半导体器件制造
半导体
过程(计算)
材料科学
工艺优化
工艺工程
纳米技术
制造工程
工程物理
计算机科学
工程类
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化学工程
医学
替代医学
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薄脆饼
操作系统
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其它 |
期刊:International journal of precision engineering and manufacturing. Green engineering/International journal of precision engineering and manufacturing green technology 作者:Song Yi Baek; Jingyu Park; Taeyoung Koh; Dohyung Kim; Jeongmin Woo; et al 出版日期:2024-04-05 |
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