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The effect of different sputtering parameters on coating thickness and hardness in MoS<SUB align="right">2 coated films with and without interlayer

材料科学 溅射 涂层 复合材料 冶金
作者
Mehmet Poyraz,Recai Fatih Tunay
出处
期刊：International Journal of Surface Science and Engineering [Inderscience Enterprises Ltd.]
日期：2020-01-01 卷期号：14 (2): 117-117
标识
DOI：10.1504/ijsurfse.2020.108221
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