Improvement of material removal rate of single-crystal diamond by polishing using H2O2 solution

抛光钻石基质（水族馆）材料科学 Crystal（编程语言）化学机械平面化冶金复合材料地质学海洋学计算机科学程序设计语言

作者

Akihisa Kubota,S. Nagae,Mutsumi Touge

出处

期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier]
日期：2016-10-01 卷期号：70: 39-45 被引量：45

标识

DOI：10.1016/j.diamond.2016.09.028

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