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Exploring the influence of Al content on the optical and interface properties of HfAlOx mixed gate dielectric thin films and their applications in MOS devices

材料科学 栅极电介质 电介质 薄膜 光电子学 高-κ电介质 接口（物质） 内容（测量理论） 工程物理 纳米技术 复合材料 电气工程 晶体管 数学分析 数学 毛细管数 电压 毛细管作用 工程类
作者
Renjia Zhang,Kamale Tuokedaerhan,Hongguo Du,Ahemaitijiang Maimaiti,Margulan Ibraimov
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2024-10-01 卷期号：35 (28) 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s10854-024-13616-y
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