FEA study on the TSV copper filling influenced by the additives and electroplating process

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作者
Zifeng Zhao,Ziyu Liu,Lin Chen,Qingqing Sun,Hongye Liu,Yabin Sun
出处
期刊:Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
卷期号:275: 111981-111981 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.mee.2023.111981

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