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Characterization Method of Biological Functionalization Process of Silicon Surface Based on Cantilever Biosensor

材料科学 表征（材料科学） 生物传感器 表面改性 硅 纳米技术 过程（计算） 光电子学 悬臂梁 化学工程 曲面（拓扑） 复合材料 计算机科学 几何学 数学 工程类 操作系统
作者
Jingjing Wang,Li Zhang,Houyong Cao,Yong Zhu,Ji Yang,Erdan Gu
出处
期刊：Integrated Ferroelectrics [Taylor & Francis]
日期：2020-06-12 被引量：1
标识
DOI：10.1080/10584587.2020.1728731
摘要
A novel cantilever array-based biosensor was batch-fabricated with IC compatible MEMS technology for precise liver cancer biomarker detection. A microcavity was designed in the free end of the cant...
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