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Effect of oxygen content on p-type electrical conductivity in β-Ga2O3 films

材料科学电阻率和电导率氧气电导率内容（测量理论）化学工程电气工程物理化学有机化学数学工程类数学分析化学

作者

Se-Rim Park,Zeyu Chi,Corinne Sartel,Sang‐Mo Koo,Mathieu Frégnaux,Yunlin Zheng,S. Douglas,Lewis Penman,Fabien Massabuau,Tamar Tchelidze,J.‐M. Chauveau,E. Chikoidze

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-08-29 卷期号：200: 110003-110003

链接

hal.science hal.sciencedoi.org

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2025.110003

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