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作者
Dandan Han,
Tianchun Ye,
Yayi Wei
出处
期刊：
Nanoscale advances
[The Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01
卷期号：5 (17): 4424-4434
被引量：3
链接
rsc.org
rsc.org
nih.gov
nih.gov
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d3na00147d
摘要
Nanolithography techniques providing good scalability and feature size controllability are of great importance for the fabrication of integrated circuits (IC), MEMS/NEMS, optical devices, nanophotonics, etc.
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