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Effects of post cooling on the remnant polarization and coercive field characteristics of atomic layer deposited Al-doped HfO2 thin films

材料科学矫顽力铁电性薄膜兴奋剂极化（电化学）正交晶系分析化学（期刊）复合材料凝聚态物理电介质光电子学晶体结构纳米技术结晶学化学色谱法物理物理化学

作者

Bon‐Cheol Ku,Yu‐Rim Jeon,Moonsuk Choi,Chulwon Chung,Changhwan Choi

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2022-06-22 卷期号：601: 154039-154039 被引量：17

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2022.154039

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