Tin-Assisted Synthesis of ε−Ga2O3 by Molecular Beam Epitaxy

亚稳态 算法 氧化物 计算机科学 材料科学 物理 冶金 量子力学
作者
M. Kracht,Alexander Karg,Jörg Schörmann,Marcel Weinhold,Daniel M. Zink,Fabian Michel,Marcus Rohnke,Marco Schowalter,Beeke Gerken,Andreas Rosenauer,Peter J. Klar,Jürgen Janek,Martin Eickhoff
出处
期刊:Physical review applied [American Physical Society]
卷期号:8 (5) 被引量:155
标识
DOI:10.1103/physrevapplied.8.054002
摘要

Metastable $ϵ$-gallium oxide is expected to have very good properties for high-power electronics, combining the large band gap and high breakdown field of $\ensuremath{\beta}$-Ga${}_{2}$O${}_{3}$ with a very high spontaneous polarization. Unfortunately, synthesizing $ϵ$-Ga${}_{2}$O${}_{3}$ is quite tricky, yet the authors have managed it. Introducing tin avoids the formation of volatile suboxides, which leadsto a widened growth window in which $ϵ$-gallium oxide can beformed. Furthermore, the growth mechanism that the authors revealcould be relevant for the growth of any binary oxide.
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