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MEMS piezo-resistive force sensor based on DC sputtering deposited amorphous carbon films

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作者
Xin Ma,Xiaoshan Tong,Peng Guo,Yulong Zhao,Qi Zhang,Hanchao Li,Rende Chen,Aiying Wang
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2019-11-02 卷期号：303: 111700-111700 被引量：18
标识
DOI：10.1016/j.sna.2019.111700
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