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First principles study on overall reaction mechanism for tungsten atomic layer deposition in the early stages

原子层沉积钨机制（生物学）图层（电子）沉积（地质）材料科学纳米技术化学工程冶金物理工程类地质学古生物学量子力学沉积物

作者

박환열

出处

期刊：Seoul National University - Seoul National University Open Repository 日期：2019-01-01

链接

handle.net ac.kr

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