THD improvement of piezoelectric MEMS speakers by dual cantilever units with well-designed resonant frequencies

悬臂梁 微电子机械系统 总谐波失真 对偶(语法数字) 声学 压电 材料科学 电气工程 物理 工程类 光电子学 电压 复合材料 哲学 语言学
作者
Hsu-Hsiang Cheng,Weileun Fang
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:377: 115717-115717 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.sna.2024.115717
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