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Effect of modulation period on microstructure and mechanical properties of (AlSiTiVNbCr)N/(AlSiTiVNbCr)CN nano-multilayer films

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作者
Wenting Shao,WU Shang-kun,Wei Yang,Jiahua He,Shuaidan Lu,Dapeng Xu,Jian Chen
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2022-11-11 卷期号：207: 111660-111660 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111660
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