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Effect of heat treatment on structural, optical and mechanical properties of sputtered TiOxNy films

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作者
S. H. Mohamed,Oliver Kappertz,T. Niemeier,R. Drese,M.M. Wakkad,Matthias Wuttig
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2004-05-12 卷期号：468 (1-2): 48-56 被引量：72
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2004.04.017
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