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Comprehensive Understanding of Fatigue, Breakdown, and Recovery Mechanism by Thickness Scaling in Hf0.5Zr0.5O2/Ge MF(I)S Capacitors for Low Writing Voltages

电容器 缩放比例 材料科学 机制（生物学） 电气工程 物理 工程类 数学 电压 几何学 量子力学
作者
Jai-Youn Jeong,Kyeol Ko,Changhwan Shin,Jae‐Hoon Han
出处
期刊：ACS applied electronic materials [American Chemical Society]
日期：2025-07-18 卷期号：7 (15): 6770-6783
标识
DOI：10.1021/acsaelm.5c00500
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