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Performance Evaluation of Junctionless FinFET using Spacer Engineering at 15 nm Gate Length

跨导 材料科学 电介质 电导 阈下摆动 光电子学 晶体管 高-κ电介质 工作（物理） 排水诱导屏障降低 电压 阈值电压 电气工程 凝聚态物理 物理 热力学 工程类
作者
Navneet Kaur,Sandeep Singh Gill,Prabhjot Kaur
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2022-03-30 卷期号：14 (16): 10989-11000 被引量：3
链接
researchsquare.comdoi.org
标识
DOI：10.1007/s12633-022-01820-6
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