SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
3D reconstruction of 3D NAND memory etch profiles using FIB-SEM: identifying variances in etched hole patterns
材料科学
随机存取存储器
与非门
蚀刻（微加工）
光电子学
计算机科学
电子工程
逻辑门
纳米技术
计算机硬件
算法
工程类
图层（电子）
作者
Jin Zhang,
Keumsil Lee,
Dmitry Klochkov,
Thomas Korb,
Osman Sorkhabi,
Lü Tian,
Ramani Pichumani,
Kina Tekleyohannes,
Junyu Wang,
Shawn Sallis,
Sean Ningen,
Hyojung Kim,
Tiffany Teoh,
Yevgen Polubotko,
D. Pirkle,
E. Foca
标识
DOI：10.1117/12.3051156
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Kao
上传了
应助文件
9秒前
干净芷蕾
发布了新的
文献求助
10
27秒前
Kao
上传了
应助文件
29秒前
Ava
上传了
应助文件
34秒前
ll
发布了新的
文献求助
10
40秒前
Kao
上传了
应助文件
42秒前
活泼念梦
完成签到，获得积分
10
52秒前
ll
完成签到，获得积分
10
1分钟前
852
上传了
应助文件
1分钟前
Kao
上传了
应助文件
1分钟前
逝川
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
干净芷蕾
完成签到，获得积分
10
1分钟前
FashionBoy
的
应助
被
胖虎啊
采纳，获得
10
1分钟前
桐桐
的
应助
被
jam
采纳，获得
10
1分钟前
ding
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1分钟前
Copyright
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1分钟前
英姑
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1分钟前
科研通AI6.3
的
应助
被
soilman
采纳，获得
10
1分钟前
Mcling
关闭了
Mcling
的
文献求助
1分钟前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
1分钟前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
1分钟前
Mcling
完成签到，获得积分
20
1分钟前
沐玄音
完成签到，获得积分
10
1分钟前
ycyang
完成签到，获得积分
10
1分钟前
soilman
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
鲤鱼小松鼠
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
我是老大
的
应助
被
逝川
采纳，获得
10
1分钟前
5很过分哈
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
可可
完成签到，获得积分
0
1分钟前
刘乐乐
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
香蕉觅云
的
应助
被
QQ
采纳，获得
10
2分钟前
yuri
完成签到，获得积分
10
2分钟前
5很过分哈
完成签到，获得积分
10
2分钟前
Kao
上传了
应助文件
2分钟前
Alex_T
上传了
应助文件
2分钟前
搜集达人
上传了
应助文件
2分钟前
共享精神
的
应助
被
zLin
采纳，获得
10
2分钟前
枫叶53
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
Xin
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
我是老大
上传了
应助文件
2分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Single Cell Analysis of the Tumor Microenvironment Landscape Across the Disease Spectrum of Multiple Myeloma
1000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场现状调查及投资机会研判报告
1000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场规模及竞争格局分析报告
1000
模型平均及其应用
900
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition
700
The Cambridge History of China 英文版16册
600
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7330927
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8945330
关于积分的说明
18974890
捐赠科研通
6985696
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3216844
关于科研通互助平台的介绍
2383394
邀请新用户注册赠送积分活动
2196473
今日热心研友
Kao
133
1020
嘻嘻哈哈
30
540
zzzz
63
50
美满的访旋
4
515
超帅的忆曼
4
510
Copyright
30
230
Alex_T
21
OK
200
YifanWang
18
Oracle
2
150
Sure
6
90
ye
120
迷人的天抒
120
贪玩的秋柔
10
20
无情的聪健
120
ucas
10
bbr
90
Nole
1
80
MchemG
7
ming2026
7
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
嘻嘻哈哈
zzzz
美满的访旋
超帅的忆曼
Copyright
Alex_T
OK
YifanWang
Oracle
Sure
ye
迷人的天抒
贪玩的秋柔
无情的聪健
ucas
bbr
Nole
MchemG
ming2026
皖公网安备34019202002308
