High-quality AlN growth on flat sapphire at relatively low temperature by crystal island shape control method

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作者
Yuheng Zhang,Jing Yang,Degang Zhao,Feng Liang,Ping Chen,Zongshun Liu
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:606: 154919-154919 被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2022.154919
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