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Deposition of Ti-Zr-O-N films by reactive magnetron sputtering of Zr target with Ti ribbons

材料科学 溅射 溅射沉积 沉积（地质） 腔磁控管 化学成分 金属 分析化学（期刊） 氧气 薄膜 冶金 化学工程 纳米技术 化学 环境化学 古生物学 有机化学 沉积物 工程类 生物
作者
C.I. da Silva Oliveira,D. Martínez-Martínez,L.T. Cunha,S. Lanceros‐Méndez,P. Martins,E. Alves,N.P. Barradas,Mihai Apreutesei
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2020-12-10 卷期号：409: 126737-126737 被引量：3
链接
hal.science archives-ouvertes.fr handle.net uminho.ptdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2020.126737
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