Evaluation of Y2O3 gate insulators for a-IGZO thin film transistors

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作者
Young‐Je Cho,Jihoon Shin,Santosh M. Bobade,Young‐Bae Kim,Duck‐Kyun Choi
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:517 (14): 4115-4118 被引量:87
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2009.02.020
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