Synthesis of CeO2 Nanoparticles Derived by Urea Condensation for Chemical Mechanical Polishing

材料科学 化学工程 纳米颗粒 Zeta电位 化学机械平面化 粒径 泥浆 煅烧 抛光 分散性 尿素 动态光散射 吸附 复合材料 纳米技术 有机化学 高分子化学 催化作用 化学 工程类
作者
Zhenyang Wang,Tongqing Wang,Lifei Zhang,Xinchun Lu
出处
期刊:Electronic Materials Letters [Springer Science+Business Media]
卷期号:19 (6): 580-587 被引量:10
标识
DOI:10.1007/s13391-023-00427-2
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