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Effect of Substrate Bias Voltage on Infrared Characteristics of TiN Films

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作者

Linlin Lu,Jie Xu,Yi Liu,Xiaolei Su,Chunfang Ma,Jia Liu,Yongxia Kang

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2022-10-11 卷期号：51 (12): 7267-7274 被引量：2

标识

DOI：10.1007/s11664-022-09971-3

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