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Dynamic humidity response of surface acoustic wave sensors based on zinc oxide nanoparticles sensitive film

材料科学 湿度 相对湿度 声表面波 瑞利散射 石英 纳米颗粒 薄膜 溅射沉积 光电子学 分析化学（期刊） 溅射 纳米技术 复合材料 声学 化学 光学 气象学 物理 色谱法
作者
Zhangliang Xu,Zhifeng Li
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2021-05-15 卷期号：127 (6) 被引量：10
标识
DOI：10.1007/s00339-021-04587-6
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