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Study on the modulation effect of gate etching depth on the electrical characteristics of AlGaN/GaN/AlN/GaN dual-channel devices

材料科学 光电子学 蚀刻（微加工） 调制（音乐） 频道（广播） 宽禁带半导体 对偶（语法数字） 氮化镓 图层（电子） 计算机科学 纳米技术 电信 声学 物理 文学类 艺术
作者
Yuanjie Wang,Ling Yang,Chunzhou Shi,Meng Zhang,Bin Hou,Sheng Wu,Haijun Liu,Yu Zhang
标识
DOI：10.1109/imws-amp66175.2025.11136560
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