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A lightweight model and agent framework for fast and accurate surface defect detection in MoS2 films

可缩放矢量图形材料科学曲面（拓扑）计算机图形学（图像）计算机科学几何学操作系统数学

作者

Ruiliang Zhou,Jian Yang,Hailong Liu,Xu Chen,Yu Pu,Ivan S. Babichuk

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-04-02 卷期号：193: 109494-109494

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2025.109494

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