Thermal solid-phase crystallization of amorphous CuCrO2:N thin films deposited by reactive radio-frequency magnetron sputtering

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作者
Hiroshi Chiba,Naotoshi Hosaka,Tomoyuki Kawashima,Katsuyoshi Washio
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:652: 16-22 被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2017.11.028

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