Interfaces and Junctions in Nanoscale ZnO and InAs Transistor Structures

材料科学 接触电阻 光电子学 电子迁移率 晶体管 半导体 带隙 阈值电压 饱和电流 凝聚态物理 纳米技术 电压 电气工程 图层(电子) 物理 工程类
作者
Alnazer Mohamed
标识
DOI:10.23889/suthesis.51283
摘要

In this thesis, a multi-scale simulation study of Ni/InAs nano-scale contact aimed for the sub-14 nm technology is carried out to understand material and transport properties at a metal-semiconductor interface.The deposited Ni metal contact on an 11 nm thick InAs channel forms an 8.5 nm thick InAs leaving a 2.5 nm thick InAs channel on a p-type doped (1×10 16 cm -3 ) AlAs 0.47 Sb 0.53 buffer.The density functional theory (DFT) calculations reveal a band gap narrowing in the InAs at the metal-semiconductor interface.The one-dimensional (1D) self-consistent Poisson-Schrödinger transport simulations using real-space material parameters extracted from the DFT calculations at the metal-semiconductor interface, exhibiting band gap narrowing, give a specific sheet resistance of R sh = 90.9Ω/sq which is in a good agreement with an experimental value of 97 Ω/sq.In this thesis, ZnO thin-film transistors (TFTs) with different channel lengths (10 µm, 5 µm, 4 µm, and 2 µm) have been characterised.The current-voltage measurements indicate n-type channel, enhancement mode TFT operation with an excellent drain current saturation.A transmission line method (TLM) is employed to extract the contact resistance, effective and channel electron mobility from current-voltage characteristics in the linear regime of transistor operation.Contact resistance and both effective and channel electron mobility exhibit a dependency on the channel length as a function of gate bias (10 V and 15 V).The extracted channel electron mobility is high as 0.782 cm 2 /Vs and 0.83 cm 2 /Vs (increase by 6 %) at gate biases of 10 V and 15 V, respectively, for the 10 µm channel length as compared to effective mobility of 0.11 cm 2 /Vs and 0.38 cm 2 /Vs, at the same respective biases.
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