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作者
Hongbin Xiao,
Hu He,
Xinyu Ren,
Peng Zeng,
Fuliang Wang
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2016-12-29
卷期号：170: 54-58
被引量：31
标识
DOI：10.1016/j.mee.2016.12.030
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