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Synthesis of silicon and silicon nitride powders by vapour-phase reactions

材料科学 硅 渗氮 氮化硅 纳米 相（物质） 化学工程 化学气相沉积 气相 镁 纳米技术 冶金 复合材料 有机化学 图层（电子） 化学 物理 工程类 热力学
作者
B. W. Jong,G. J. Slavens,D.E. Traut
出处
期刊：Journal of Materials Science [Springer Nature]
日期：1992-01-01 卷期号：27 (22): 6086-6090 被引量：9
标识
DOI：10.1007/bf01133754
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